Présentation de l'application
*Manipulation automatisée des matériaux au niveau des bords des fils semi-conducteurs
*Convient aux processus avec des cycles de production lâches
*Convient aux situations individuelles de flux de matériaux
*Il est adapté à la circulation des personnes au sol et à la manutention de matériaux sans restrictions
*Convient aux équipements d'atelier, n'est pas fixe et prend en charge le changement de disposition.
*S'applique au test de plaquette BG WS DB WB TEST final
*Conformité aux normes Cleanroom ISO14644-14, SEMI S2 et ESD
Système de charge
Station de batterie unique
Quantité de stockage | 1/2bac+ 1 bac à monnaie |
Classe propre | classe 1K |
Système de contrôle | PLC |
Système de données | BCMS (facultatif) |
Délai de remplacement de la batterie | 3 minutes |
Station de batterie
Quantité de stockage | ≥5 bacs |
Classe propre | classe 1K |
Système de contrôle | PLC |
Système de données | BCMS |
Délai de remplacement de la batterie | 4 minutes |
Système de gestion de batterie
Présentation de l'application
*Manipulation automatisée des matériaux lors de la production de semi-conducteurs
*Il convient aux temps de cycle courts et aux multiples situations de production combinées
*Il convient à la manipulation point à point avec un volume important, un poids lourd et une faible précision d'amarrage
*Convient pour le FOUR, le brûlage, les paniers à grille, le support de boîte
*Conforme aux normes Cleanroom ISO14644-14, SEMI S2 et ESD
Applications
Polissage et transport des plaquettes
Chargement et déchargement SMT MGZ
Chargement et déchargement du FOUR
Transbordement E-rack
Bloquer4. No.358 Jinhu Road, district de Pudong, Shanghai, Chine